ロボット/プリアライナー

半導体/液晶用製造装置の真空ロボット及び大気ロボットのOH、修理サービスを行っております。
予備機(※の機種)もご用意しております。
また、下記リスト以外にもご相談可能なアイテムがございますのでお気軽にお問合せ下さい。

Repair results example 修理実績事例

半導体製造装置にはウエハーの搬送のため、必ずロボットアームが使用されています。
しかし、今までその大半がOEMの為、装置メーカーを通しての修理が主流になっており、相当な中間マージンが発生していました。トリコでは、この半導体製造装置用ロボットにおいて、多数の修理実績をあげており、お客様にコストダウンをご提案いたします。

真空ロボット

対応表

 BROOKS製
 MAG7    ※ MAG70 
 MTR5    ※  MAG70 POWER SUPPLY
 VTR5

 各種アーム修理

※ 印は予備機あり(EXCHANGE可能)。

大気ロボット

対応表

 BROOKS製ASYST製
ATM204 UTC シリーズ ※
PRI ATM107 UTX シリーズ
PRI ATM407B

UTW シリーズ

PRI 105

OF250 ※

※ 印は予備機あり(EXCHANGE可能)。

上記リスト以外にも相談可能なアイテムがございますのでお気軽にお問合せ下さい。



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