アルバニー社では、高品質ポリイミド樹脂でパイロペルを開発しました。
従来品と比較して「耐プラズマ性」「耐腐食ガス性」に優れ、半導体・液晶製造装置などで使用されております。
さらに、「耐熱性」にも優れていることから、「ガス分析装置」「マスフローコントローラー」の部品としても採用されております。
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高品質・ポリイミド樹脂
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クランプリング
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ウエハー搬送用部品
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耐熱・電機絶縁部品
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