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表面測定装置

FRT

 

ドイツFRT社の測定装置は、あらゆる材料の解析に適しています。多種多様なセンサーや光源を取り揃えていますので、最適な測定を提供する事が可能です。

 

FRT表面検査装置(PDF)

 

測定対象材料

  • ウェーハ(シリコン、ガラス、サファイア、石英、SiC、GaN、LN/LT、等)
  • MEMSチップ、TSV用ホール、バンプ
  • 自動車部品(シリンダー、エンジン、ダッシュボード、ブレーキパッド、等)
  • 医療品(カテーテル、人工関節、インプラント、注射針、レンズ、等)
  • 包装材(各種包装材、立体印刷面)

 

測定パラメーター

ウェーハ厚み、TTV、BOW、WARP、表面形状(トポグラフィ)、表面粗さ、平坦度、ステップハイト、バンプ径、構造寸法、キャビティ深さ、膜厚、等

 

MFE MicroProf MicroSpy
MFE
MicroProf
MicroSpy

 

測定例

TSV用ホール MEMSコイル レジスト膜厚
TSV用ホール
MEMSコイル
レジスト膜厚
ウェーハ表面形状 マイクロエンボス加工包装材 人工関節表面
ウェーハ表面形状
マイクロエンボス加工包装材
人工関節表面

 

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