PMXマッチャー	4チャンネル位相シフター	ESC電源	Lam TCP用ESC電源 （互換品）
エピ装置用制御ラック

他にも各種の聞きの設計・製作をお受けいたします。
是非、弊社にご相談ください。

マルチチャンネル位相シフター

4チャンネル位相シフター	4チャンネル位相シフター （表示無し）

Closed Loop クローズドループ方式

マッチングネットワークの出力の位相を検出しPLLによる位相制御回路にフィードバックし基準信号との位相差を任意の値に制御します。

電源電圧

単相AC100〜240V（フリー電源）20/60Hz

外形寸法

99（高さ）X 483mm（幅）X 450mm（奥行）ラック取付可能

位相制御範囲

各チャンネルの独立設定で0〜360度

位相設定方法

フロントパネルの回転ノブ（エンコーダ）による設定

制御方式

オープンループ方式/クローズドループ方式

位相出力信号

13.56MHz　RF電源の外部周波数入力仕様に準じます。

位相入力信号

マッチャー出力部からアッテネータで減衰させた電圧位相信号

表　　　　　示

位相差表示　　　　　 ：20桁4行LCD英数字表示（オプション）
位相ロック表示　　　 ：LEDランプ（緑）各チャンネル毎
位相表示範囲　　　　：0〜360度
位相表示分解能　　 ：1度
位相表示計測制度　：測定値の±0.5%±1 Digit