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RF電源・DC電源

主要部品の定格アップ、リエンジニアリングにより、信頼性の向上および長寿命化を行う改善を行っております。

 

RF and DC Power Supply

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AE社製
RF電源RFGシリーズ
AE社製RPS
MKS社製RPS
AE社製RF電源
MKS（ENI）社製
RF電源
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AE（RFPP）社製
RF電源
AMAT装置用
SSD Boad
MKS（FNI）社製
RF電源
AE社製
DC電源MDX-L
photo_RFDC09  
COMDEL社製
RF電源

 

AMAT / Lam/ Novellus装置用　COMDEL / AE / RFPP / ENI（MKS）社製電源
その他各種のRF電源 / DC電源の修理を行っております。

 

 

300mm装置用RF & DC Power supply

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MKS Spectrum 11002-00,
10513-00 （AMAT ULTIMA）
MKS社製
GHW-55A
MKS（ENI）社製
DCG-200Z
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Comdel CDX-2000
Comdel CX-1250
（ENDURA）
AE　Pinnacle
（AMAT ENDURA）
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ADVANCED ENERGY
APEX-3013
（AMAT PRODCUER, Novellus）
AE社製RPS
MKS社製RPS
ASTEX社製RPS

 

AMAT / Lam/ Novellus装置用　COMDEL / AE / RFPP / ENI（MKS）社製電源
その他各種のRF電源 / DC電源の修理を行っております。

 

 

300装置用ESC電源

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COMDEL社製
ESC電源 ESC1.5

 

他にも各種の機器の修理をお受けいたします。
是非、弊社にご相談ください。

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