リンサードライヤーの販売・メンテナンス


マーテック製リンサードライヤー（ウェハー洗浄装置）　旧バーテック（Verteq）社製品

 

マーテック（旧バーテック:VERTEQ）は、1/4の省スペースながら0.25μmに対応したウェット洗浄装置（リンサードライヤー）を取り扱っております。

弊社と致しましては、下記リンサードライヤーの販売及び、メンテナンスを承っております。

 

SUPERCLEAN　1800-6

ウェハー：8”対応

*メーカーリファビシュ品の販売も可能です
SUPERCLEAN　1600-55

ウェハー：6”対応

*メーカーリファビシュ品の販売も可能です
SUPERCLEAN 200/300

WET装置組込対応

ウェハー：8”、12”対応
 
Cobra VcS

1/4の省スペース
0.25μm対応ウェット洗浄装置
低価格
1バス方式
Sunburst Turbo cleaning and rinsing systems

サブミクロンサイズ粒子の洗浄除去装置、高度なmegasonicソリューションスタンドアロン、又は、他のプロセス・ステップと共に使用

 

  • 実績リスト

 

メンテナンス対応機種

  • SUPERCLEAN 1600-33/34
  • SUPERCLEAN 1600-55
  • SUPERCLEAN 1800-6
  • SRD1000/2000
  • SRD8100/8200
  • SRD8101/8201

 

>> ページトップ