株式会社トリコでは、半導体/液晶用製造装置の真空ロボット及び大気ロボットのOH、修理サービスを行っております。下記リスト以外にも相談可能なアイテムがございますのでお気軽にお問合せ下さい。
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真空ロボット |
大気ロボット |
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| 真空ロボット | 大気ロボット |
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| BROOKS製 | BROOKS製 |
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| ASYST製 | |
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※ 印は予備機あり（EXCHANGE可能）。
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