石英部品はある時間使用すると、石英がエッチングされたり、薬液の付着により、使用不可となり、そのまま消耗品として、廃棄されていました。
この使用済み石英部品を単純に再生するだけでなく、新品以上の品質をあたえる事を可能にしました。
使用済み石英部品の再生加工のほか、各種石英製品のご用命もお申し付けください。
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ベルジャー |
ウエハーボード |
ウエハーボード |
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洗浄槽 |
反応管 |
石英ガラスウール |
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石英リング |
フォーカスリング |
シールドリング |
石英リング |
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ウィンドウエンドポイント |
ピーボート |
石英ネジ |
石英セル |
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石英その他 |
※セラミック治具 |
再生石英とは、消耗品として取扱いされている「石英ガラス製部品」の廃棄品をリサイクルし再生加工を施したものです。
世界的な環境保護への動きを背景に、様々な分野でリサイクルが重要視されています。
しかし、いくらサイズや形が再現されていても、その品質が低下していては繊細な半導体などの製造過程において、使用することができません。
そこで、再生加工をすることで寸法の再現だけでなく、品質までも向上させることに成功したのが江信特殊硝子の「完全再生技術」です。
■独自の再溶融法による不純物の除去
※火炎加工装置を改造し、従来より100℃高い温度で再溶融を行うことで、石英ガラス内の不純物を減少させることに成功。再生を繰り返すほど、内部の不純 物は減少してゆくため、新品以上に純度の高い石英ガラス製品の再生加工を可能にした。
■不純物を蓄積させないない研磨技術
エッチングされ廃棄対象となった部品も、反応側の汚染が懸念される層を完全に研削し、不純物のない【新しい層】のみを使用する。
これら技術のコンビネーションが新品以上に品質を誇る石英ガラス「完全再生技術」です。
再生前（使用済品） |
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再生加工後 |
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| 薬液により透明度がなくなり エッチングされたベルジャー |
再生加工により、寸法が復元され 透明感と品質を取り戻した。 |
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