多组多路复用器匹配器	4通道移相器	供应ESC键	Lam TCP用ESC电源 (互换品)
设备机架控制磊晶

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多通道相移器

4通道相移器	4通道相移器 (无显示)

闭回路控制系统方式

检测出匹配网络输出功率的位相，与锁相环位相控制电路反馈的基准信号的位相差来控制任意值。

电源电压

单相AC100~240(Free电源)20/60Hz

外形尺寸

99(高)×483mm(宽)×450mm(深)架的安装可能

位相控制范围

各个渠道的独立设定0~360度

位相设定方法

前面板的回转把手(编码器)的设定

控制方式

开环方式/闭环方式

相位出力信号

13.56MHz　根据射频功率电源的外周波数功率输入图样

相位入力信号

匹配输出功率部里的衰减器，衰减的电压位相信号

表　　　　　示

位差表示　　　　　　　：　20横4行液晶显示器英数字表示 (选项)
位相闭锁表示　　　　：　每个渠道发光二级管灯(绿)
位相表示范围　　　　：　0~360度
位相表示分解能　　 ：　1度
位相表示计测制度　：　测定值的±0.5％±1Digit