株式会社トリコ | 海外規格コネクタ・洗浄装置・プリント基盤修理・石英再生・洗浄剤

半導体・液晶・太陽電池・LED用クリーンルームで利用でき、チャンバークリーニング、部品の清掃に便利な製品を御提案します。

装置の汚れ、チャンバー内副生成物、バルブに付着したデポ・ペースト状原料の残留物の洗浄は時間もかかります。力も使います。また、除去したパーティクルをきちんと取り除かないと、歩留まり・装置稼働率が悪くなります。

FOAMTECは、半導体装置メーカーに認められ、効率的にデポを取り除くダイヤモンドパッド、工具を有名な装置ごとのパッケージにてご提案しております。


UltraSOLV® ScrubPADS ダイヤモンドスクラブパッドでデポをきれいに除去できます。 HT4514D-1 （140 ダイヤ　グリット ScrubPAD） HT4536D-1 （360ダイヤ　グリット ScrubPAD）ダイヤのサイズは140から4000まで準備しております。	MiraWIPE®　クリーンルーム用ワイパー通常のワイパーとは違う星型マイクロファーバー繊維で極小のパーティクルを拭き取れます。	効率的な電動工具ダイアモンドグリットを利用して広い範囲、頑固なデポを短時間で除去できます。

UltraSOLV® Sponge このスポンジは、純粋で洗えばまた汚れを拭取れるので、今までのワイパーの廃棄を削減できる優れものです。	Cleaning Swabs クリーニングスワブ（Cleaning Swab)は、洗浄時に批判的製造装置からの汚染の除去をし易い形状に設計されました。溶剤にも対応できるファイバーを利用し、繊維が毛羽立ち難く作られております。ポリプロピレンハンドルがついております。 HT1700	Ergo WRENCH 掃除部位を安全に効率良くスクラブできるように設計をしたユニークな洗浄ツールです。HT5004 グリップ、FT850 ハンドル、FT82XR ヘッド（サイズ　大、中、小）

ダイヤモンドスクラブパッドでデポをきれいに除去できます。
HT4514D-1
（140 ダイヤ　グリット ScrubPAD）
HT4536D-1
（360ダイヤ　グリット ScrubPAD）
ダイヤのサイズは140から4000まで準備しております。

通常のワイパーとは違う星型マイクロファーバー繊維で極小のパーティクルを拭き取れます。

ダイアモンドグリットを利用して広い範囲、頑固なデポを短時間で除去できます。

このスポンジは、純粋で洗えばまた汚れを拭取れるので、今までのワイパーの廃棄を削減できる優れものです。

クリーニングスワブ（Cleaning Swab)は、洗浄時に批判的製造装置からの汚染の除去をし易い形状に設計されました。溶剤にも対応できるファイバーを利用し、繊維が毛羽立ち難く作られております。ポリプロピレンハンドルがついております。
HT1700

掃除部位を安全に効率良くスクラブできるように設計をしたユニークな洗浄ツールです。HT5004 グリップ、FT850 ハンドル、FT82XR ヘッド（サイズ　大、中、小）

半導体・液晶・太陽電池製造装置部品洗浄、真空チャンバー内洗浄、レジスト除去、デポ除去


CCircular ScrubDISK®, Diamond (D) Grit用の握りやすい ErgoSCRUB®ハンドルを利用すると研磨がしやすくなります。	Scrubペンとダイアモンドスリット (HT4528DW-5)　を合わせて使用し、膜を除去する為に、トレンド、コーナーとシーリングサイドをこする。