RF・DC電源/各種電源
主要部品の定格アップ、リエンジニアリングにより、信頼性の向上および長寿命化を行う改善を行っております。AMAT / Lam/ Novellus装置用やCOMDEL / AE / RFPP / ENI(MKS)社製電源、その他各種のRF電源 / DC電源など数多くの修理実績と経験があります。
是非、一度弊社トリコにご相談ください。
各種のRF電源 / DC電源の
修理を行っております!
AMAT / Lam/ Novellus装置用
COMDEL / AE / RFPP / ENI(MKS)社製電源