半導体試験装置（テスタ）とは

半導体テスタとは、集積回路（半導体デバイス）の製造工程において、性能等を試験し良品と不良品の選別を行う装置で、ATE（Automated Test Equipment）ともよばれています。

半導体デバイスに電気を流すことで、正常に動作するかを試験。検査対象（DUT, Device Under Test）の集積回路設計時に作成したテストパターンを元に、入力信号を生成し出力信号を期待値と比較。ウェハーのレベルでの試験（前工程試験、プローブテスト）、パッケージング後の試験（後工程試験）の2回の試験が行われる。テスタはロジックテスタ、メモリテスタ、アナログテスタに大きく分類されます。