N2パージ改造キット
納入実績20,000台以上。FOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造できるキットです。
新しい機器に買い換える前に、まずはお試しください。
ご利用のFOUPロードポートを8時間でN2パージ機能に改造！
データ管理が可能
温度・湿度・ガス流量のログ取り、パージ状態の管理が可能。RFIDリーダ標準装備
アンテナのご用意があれば、必要に応じて利用可能。改造対象機種
| 装置名 | ロードポート | FOUPタイプ | パージタイプ |
|---|---|---|---|
| LAM SEZ | TDK | SNORKEL | ボトム |
| LAM 2300 | TDK | SNORKEL | ボトム |
| AMAT PVD | SINFONIA | SNORKEL | ボトム |
| TEL Certas | SINFONIA | SNORKEL | ボトム |
| TEL Vigus | HIRATA | SNORKEL | ボトム |
| TEL Vigus Cylinder | HIRATA | SNORKEL | ボトム |
| DNS | SINFONIA | SNORKEL | ボトム |
| LAM 2300TM | BROOKS | SNORKEL | ボトム |
| EBARA | TDK | SNORKEL | ボトム |
| LAM GXT | BROOKS | SNORKEL | ボトム |
| KLA TENCOR | SINFONIA | SNORKEL | ボトム |
| HMI | TDK | SNORKEL | ボトム |
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