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Repair results example 修理実績事例

特注品設計製作・OEM供給の実例

PMXマッチャー

ESC電源

Lam TCP用ESC電源（互換品）

エピ装置用制御ラック

マルチチャンネル位相シフター

4チャンネル位相シフター

4チャンネル位相シフター(表示無し)

 

Closed Loop ＜クローズドループ方式＞

マッチングネットワークの出力の位相を検出しPLLによる位相制御回路にフィードバックし基準信号との位相差を任意の値に制御します。

項目	内容
電源電圧	単相AC100～240V（フリー電源）20/60Hz
外形寸法	99mm（高さ）X 483mm（幅）X 450mm（奥行）ラック取付可能
位相制御範囲	各チャンネルの独立設定で0～360 度
位相設定方法	フロントパネルの回転ノブ（エンコーダ）による設定
制御方式	オープンループ方式/ クローズドループ方式
位相出力信号	13.56MHz　RF 電源の外部周波数入力仕様に準じます。
位相入力信号	マッチャー出力部からアッテネータで減衰させた電圧位相信号
表　　示	位相差表示：20 桁4 行LCD 英数字表示（オプション） 位相ロック表示：LED ランプ（緑）各チャンネル毎 位相表示範囲：0～360 度 位相表示分解能：1 度 位相表示計測制度　：測定値の±0.5%±1 Digit