最適清掃アイテム
取扱いメーカー Foamtec International
フォームテック インターショナル
半導体・液晶・太陽電池・LED用クリーンルームで利用でき、チャンバークリーニング、部品の清掃に便利な製品を御提案します。装置の汚れ、チャンバー内副生成物、バルブに付着したデポ・ペースト状原料の残留物の洗浄は時間もかかります。力も使います。また、除去したパーティクルをきちんと取り除かないと、歩留まり・装置稼働率が悪くなります。FOAMTECは、半導体装置メーカーに認められ、効率的にデポを取り除くダイヤモンドパッド、工具を有名な装置ごとのパッケージにてご提案しております。
Product Line 取扱製品一覧
ScrubPAD®
ダイヤモンドスクラブパッド
半導体ウェハファブのプロセスツールからの残留物や錆などを洗浄するように設計された、特許取得済みのウェットドライコーティングされた研磨剤です。アルミニウムや鋼、セラミック、ガラス、石英など、陽極酸化した表面の汚れを迅速な除去。独自の結合技術により、研磨粒子の放出を最小限に抑え、よりクリーンなPM手順を実現します。
MiraWIPE®
クリーンルーム用ワイパー
通常のワイパーとは違う星型マイクロファーバー繊維で極小のパーティクルが拭き取れます。密閉されたエッジ構造と独自の洗浄プロセスにより、ISOクラス3クリーンルームとの互換性を確保。医療機器および医薬品クリーンルームから消毒剤残留物を除去に最適です。
Sahara®buffingpad
ステンレス
スチールクリーニング
優れた物理的特性を備えた、特別設計のポリウレタンフォーム。動力工具と組み合わせることで、水だけで頑固に付着した残留物を迅速に洗浄することが可能。柔らかい構造とスムーズな滑りで、優れたスクラブ性能を発揮。クリーンルームの窓やブラインドなど傷に弱い素材から、漂白剤やその他の消毒剤の残留物を簡単に除去します。
UltraSOLV® Sponge
吸収性クリーンルームスポンジ
自然に網状になった親水性のポリウレタンで構成された吸収性の高いスポンジです。Foamtecの特許技術の洗浄プロセスと発泡技術を使用したUltraSOLV®スポンジは、重要なツールやアセンブリの洗浄に最適です。
CleanWIPE®swabs
クリーンルームフォーム綿棒
最も要求の厳しいクリーンルームの精密洗浄作業用に設計。さまざまなヘッドの形状とサイズがあり、光学やディスクドライブ、クラスIII医療機器コンポーネントなど、精密機器のクリーニングを可能にします。溶剤にも対応できるファイバーを利用し、繊維の毛羽立ちがないよう作られています。
Ergo WRENCH®
真空チャンバー用スクラブ
掃除部位を安全に効率良くスクラブできるように設計をしたユニークな洗浄ツールです。真空チャンバー全体に届きにくいエリアを安全かつ効率的に洗浄します。柔らかい人間工学に基づいたグリップは使いやすさを追求し、ヘッドはスクラブ角度を最適化するために調整が可能。異なるサイズのヘッドとハンドルは交換可能なため、異なる用途に合わせてご利用いただけます。
半導体・液晶・太陽電池製造装置部品洗浄、真空チャンバー内洗浄、レジスト除去、デポ除去
ErgoSCRUB®
スクラブハンドル
人間工学に基づいた握りやすく、柔らかいスクラブハンドルをScrubDISKと組み合わせて使用??することで、真空チャンバーの表面を素早くクリーニングすることが可能。工具の摩耗を最小限に抑えるために、均一なスクラブ動作を実現します。
ScrubWRIGHT®
チャンバークリーニングペン
小さくて届きにくい場所を掃除するためのユニークなツール。Scrubペンとダイアモンドスリット (HT4528DW-5)を合わせて使用することで、アルミニウムやステンレス鋼、セラミック、ガラス、石英、陽極酸化した表面の堆積物を素早く除去します。
