バラトロン/マスフロー製品
Celerity、Mykrolis Intelliflow、Brooks、Aera、Horiba-STECなどの デジタル/アナログ・マスフロー・コントローラー、MKSのバラトロン®の 修理および関連サービスをご提供いたします。
対象アイテム
- マスフロー・コントローラー
- メーター
- キャパシタンス マノメータ
- 圧力トランデューサ(MKS)とコントローラー
- バキューム
- ダイアグラム
- 圧力ゲージ
サービス内容
- 校正
- ガスレンジの変更
- リファビッシュ品の販売
- 代替交換
- アップグレード
- 性能分析
- 前/後データの収集
- 性能検査 など
メーカー
- Aalborg
- Advanced Energy
- Aera
- Aixttron
- Alicat Scientific
- ASM
- BOC-Edwards
- Bronkhorst
- Brooks Instruments
- Burkert
- Celerity (Unit Instruments)
- Datametrics
- Hitachi Metals
- HoribaStec
- Linear
- Millipore (Tylan)
- MKS
- Mykrolis (Tylan)
- PFD
- Porter
- Qualiflow (ASM)
- Sierra Instruments
- STEC
- Teledyne-Hastings
- Tylan
- Tylan General
- Unit Instruments
- Vacuum General
Model List 型式一覧
シリーズ | 型式 |
---|---|
UFC | UFC-1000, UFC-1020, UFC-1100A UFC-1200A, UFC-1400A UFC-1500A UF C-1660, UFC-1661, UFC-1662, UFC-1663, UFC-1665, UFC-2000, UFC-2020, UFC-2050, UFC-3100, UFC -3101, UFC-3160, UFC-3161, UFC-3165, UFC-3020, UFC-3050, UFC-7300, UFC-7301, UFC-7304, UFC -7360, UFC-7361, UFC-7364, UFC-7900, UFC-7961, UFC-7965, UFC-8100, UFC-8160, UFC-8101, UFC -8105, UFC-8160, UFC-8161, UFC-8162, UFC-8163, UFC-8164, UFC-8165, UFC-8260, UFC-8262, UFC -8560, UFC-8561, UFC-8563, UFC-8564 UFC-9150, UFC- 9160 |
UPC | UPC-1300, UPC-8130 |
UFM | UFM-1100 |
FC | FC-260, FC-261. FC-262, FC-280, FC-2900, FC-2901. FC-2902, FC-2 910, FC-2911, FC-2912, FC-2920, FC-2950, FC-2951, FC-2952, FC-2960, FC-2979, FC-3925, FC-7700, FC-7800, FC-7810, FC-7820, FC-980 |
FM | FM-360, FM-361, FM-362, FM-3900M, FM-3900MEP, FM-3900MEP5, FM-3920, FM-4900 |
VC | VC-4900 |
SEC | SEC-4400, SEC-4500, SEC-4600, SEC-7330, SEC-7340, SEC-7350, SEC -7440 |
5850 | 5850, 5850C, 5850E, 5850EM, 5850TR, 5964 |
179 | 179, 1159A, 1179A, 1259A, 2159, 2179, 2259 |
IN | IN1, IN2, IN3, IN3XP, I125C, Z5xx. lntelliflow, Device Net など |
パラトロン®修理型式 |
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622A, 626A, 627B, 628B, 629B, 631A, 623A, 624B, 625B, PR4000, PDR-D-1, PDR-D-2, PDR2000, 660B など |
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